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郭华聪. 离子束成膜技术[J]. Nuclear Physics Review, 1989, 6(3): 29-31. DOI: 10.11804/NuclPhysRev.06.03.029
Citation: 郭华聪. 离子束成膜技术[J]. Nuclear Physics Review, 1989, 6(3): 29-31. DOI: 10.11804/NuclPhysRev.06.03.029
shu

离子束成膜技术

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  • 本文简要介绍了几类离子束成膜技术:离子束沉积和外延;离子束辅助沉积和离子蒸发沉积;集团离子束沉积;离子束溅射沉积。
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